Qua est fier d'être présent au salon Ultrapure Water Microelectronics à Portland, Oregon, les 31 mai et 1er juin. Nous mettrons en évidence notre technologie FEDI (électrodéionisation fractionnée) en tant que solution pour l'industrie de la microélectronique. Voici un bref résumé de notre FEDI:

Technologie FEDI

Rendre une bonne technologie encore meilleure

Il existe deux types d'impuretés ioniques éliminées dans un processus EDI; impuretés fortement ionisées (ions divalents tels que Ca, Mg, SO4 et des ions monovalents tels que Na, Cl et HCO3) et des impuretés faiblement ionisées (telles que CO2 B et SiO2). Les deux types d'impuretés ioniques nécessitent une force d'entraînement (courant) différente pour le mouvement et la séparation. Les impuretés fortement ionisées nécessitent moins de courant, alors que les impuretés faiblement ionisées nécessitent plus. Plutôt que d'appliquer un courant à l'ensemble du module, le procédé FEDI différencie le traitement des impuretés faiblement ionisées et fortement ionisées en appliquant différents courants et tensions dans un processus en deux étapes. Ceci permet d'éliminer une partie importante des impuretés fortement ionisées, principalement les ions divalents, qui peuvent provoquer une précipitation à une tension plus élevée, au stade 1. Par la suite, une tension plus élevée est appliquée pour éliminer les impuretés faiblement ionisées dans le Stage-2. Les ions rejetés des deux étapes sont éliminés en utilisant des courants de rejet séparés, empêchant ainsi la précipitation de dureté.

Et plus à propos de UPW Micro :

La conférence sur l'eau ultra pure

 UPW Micro couvre les sujets suivants et plus encore

Gestion / contrôle des particules

Surveillance des particules

Besoins UPW pour les outils de traitement de plaquettes

Point de vue de l'utilisateur UPW
Qualité UPW et systèmes UPW en dehors de l'usine de semi-conducteurs
Petits systèmes UPW / DI

Surveillance / contrôle H2O2 / Impact sur le processus de surveillance

Améliorations des matériaux UPW

Traitement au point d'utilisation

COT / matières organiques; Spéciation TOC

Métalliques dans le processus UPW

Réduction des coûts et autres améliorations continues

Étalonnage

Traitement sulfurique dilué, réduction TDS

Défis de récupération et de réutilisation

Effet de la qualité de l'eau sur les tours de refroidissement et rôle des tours de refroidissement dans la gestion et la conservation de l'eau

Nouveaux défis de la chimie

Contrôle organique

Acide sulfurique et salinité dans les eaux usées

Problèmes de surveillance des eaux usées

Gestion des déchets de Cu

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