プロジェクトの説明
インドの先駆的OSAT半導体工場向けFEDI®ソリューションによる超純水品質QUAの確保
クライアント： グローバル半導体メーカー
工場所在地: グジャラート州、インド
世界最大級の半導体メーカーの一社が、インド政府の改訂された組立・試験・マーキング・パッケージング（ATMP）制度に基づき、インドに初のアウトソーシング半導体組立・試験（OSAT）施設を設立する。
このプロジェクトは、同社とインドの半導体業界にとって重要な節目となります。新しい OSAT 施設は、シリコン チップのテストやパッケージングなどの重要なタスクを実行し、半導体サプライ チェーンの重要なリンクとして機能し、半導体製造プロセスで不可欠な役割を果たします。
課題：
超純水 (UPW) は半導体製造において非常に重要なコンポーネントであり、わずかな不純物でも製造品質に影響を与える可能性があります。このプロセスの厳しい要件を満たすために、メーカーは半導体業界の高精度基準を満たすために、供給導電率 <4.5 μS/cm で 0.1 m³/時の UPW を製造できる信頼性の高い UPW システムを必要としていました。
QUAのソリューション:
厳格な技術評価の結果、メーカーはQUAのFEDI®フラクショナル電気脱イオン化を選択しました。
QUA は、UPW システムに FEDI® テクノロジーを採用しました。QUA の最先端の FEDI® ソリューションは、特許取得済みのプロセスにより、一貫して 18 MΩ.cm (0.056 μS/cm) までの高純度水を生成できることから選ばれました。このソリューションにより、UPW システムは半導体製造に不可欠な最高の品質基準を満たすことができます。
フロー図：
結果について
FEDI® システムは、シリコン チップや電動工具の洗浄やテストなど、重要な半導体製造プロセスに超純水を確実に供給します。FEDI® システムは中断することなく継続的に稼働し、必要な流量と導電率を常に満たしながら、事前に定義されたすべての基準と規格に準拠しています。この一貫したパフォーマンスにより、半導体メーカーの OSAT 施設は超純水を安定して供給できるようになり、半導体製造に不可欠な精度と品質基準の維持に不可欠なものとなっています。
