Quaは、31月1日とXNUMX月XNUMX日にオレゴン州ポートランドで開催される超純水マイクロエレクトロニクスショーに出展することを誇りに思っています。 マイクロエレクトロニクス産業向けのソリューションとして、FEDI(フラクショナルエレクトロデイオン化)テクノロジーを紹介します。 これが私たちのFEDIの簡単な要約です:

FEDIテクノロジー

優れたテクノロジーをさらに良くする

EDIプロセスで除去されるイオン性不純物にはXNUMXつのタイプがあります。 強くイオン化された不純物(Ca、Mg、SOなどの二価イオン4 Na、Cl、HCOなどの一価イオン3)および弱くイオン化された不純物(COなど)2 BとSiO2)。 どちらのタイプのイオン性不純物も、移動と分離のために異なる駆動力(電流)を必要とします。 強くイオン化された不純物はより少ない電流を必要としますが、弱くイオン化された不純物はより多くを必要とします。 FEDIプロセスは、モジュール全体に1つの電流を流すのではなく、2段階のプロセスで異なる電流と電圧を流すことにより、弱イオン化不純物と強イオン化不純物の処理を区別します。 これにより、ステージXNUMXで、より高い電圧で沈殿を引き起こす可能性のある、強くイオン化された不純物、主にXNUMX価イオンのかなりの部分を除去できます。 続いて、ステージXNUMXで弱くイオン化された不純物を除去するために、より高い電圧が印加されます。 両方のステージからのリジェクトされたイオンは、別々のリジェクトストリームを使用して除去されるため、硬度の沈殿が防止されます。

そしてもっと UPWマイクロ :

超純水マイクロカンファレンス

 UPW Microは、次のトピックなどをカバーしています

粒子の管理/制御

粒子モニタリング

UPWはウェーハ処理ツールを必要としています

UPWユーザーの視点
半導体ファブ外のUPW品質とUPWシステム
小型UPW/DIシステム

H2O2モニタリング/制御/モニタリングプロセスへの影響

UPW材料の改善

ポイントオブユーストリートメント

TOC/オーガニック; TOCスペシエーション

UPWプロセスのメタリック

コスト削減およびその他の継続的改善

キャリブレーション

希硫酸処理、TDS低減

レクラメーションと再利用の課題

冷却塔への水質の影響と水管理と保全における冷却塔の役割

新しい化学の課題

有機制御

廃水中の硫酸と塩分

廃水モニタリングの問題

Cu廃棄物管理

ブース#32にぜひお越しください