프로젝트 설명
FEDI® 솔루션을 통해 인도의 선구적인 OSAT 반도체 시설을 위한 초순수 수질 QUA 보장
고객: 글로벌 반도체 제조업체
공장 위치: 구지라트, 인도
세계 최대 규모의 반도체 제조업체 중 하나가 정부의 개정된 ATMP(조립, 테스트, 마킹, 패키징) 제도에 따라 인도에 최초의 아웃소싱 반도체 조립 및 테스트(OSAT) 시설을 설립한다.
이 프로젝트는 회사와 인도 반도체 부문에 중요한 이정표를 세웁니다. 새로운 OSAT 시설은 반도체 제조 공정에서 필수적인 역할을 하며, 실리콘 칩 테스트 및 패키징과 같은 중요한 작업을 수행하고 반도체 공급망에서 중요한 연결 고리 역할을 합니다.
도전 과제 :
초순수(UPW)는 반도체 제조에 중요한 구성 요소로, 아주 사소한 불순물도 생산 품질에 영향을 미칠 수 있습니다. 이 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 제조업체는 반도체 산업의 고정밀 표준을 충족하기 위해 공급 전도도가 <4.5 μS/cm인 0.1 m³/hr의 UPW를 생산할 수 있는 매우 안정적인 UPW 시스템이 필요했습니다.
QUA의 솔루션:
엄격한 기술 평가 후 제조업체는 QUA의 FEDI® 분획 전기 이온화를 선택했습니다.
UPW 시스템을 위한 기술. QUA의 최첨단 FEDI® 솔루션은 특허받은 공정을 통해 최대 18 MΩ.cm(0.056 μS/cm)의 고순도 물을 지속적으로 생산할 수 있는 능력으로 선정되었습니다. 이 솔루션은 UPW 시스템이 반도체 제조에 필수적인 최고 품질 표준을 충족하도록 보장합니다.
흐름도:
결과 :
FEDI® 시스템은 실리콘 칩과 전동 공구 세척 및 테스트와 같은 중요한 반도체 제조 공정에 초순수를 안정적으로 공급합니다. FEDI® 시스템은 중단 없이 지속적으로 작동하여 모든 사전 정의된 규범과 표준을 준수하는 동시에 필요한 유량과 전도도를 지속적으로 충족합니다. 이러한 일관된 성능은 반도체 제조업체의 OSAT 시설에 초순수의 안정적인 공급을 제공했으며, 이는 반도체 제조에 필수적인 정밀성과 품질 표준을 유지하는 데 매우 중요합니다.
