Qua는 31월 1일과 XNUMX월 XNUMX일 오리건주 포틀랜드에서 열리는 초순수 마이크로일렉트로닉스 전시회에 참가하게 된 것을 자랑스럽게 생각합니다. 우리는 마이크로일렉트로닉스 산업을 위한 솔루션으로 FEDI(Fractional Electrodeionization) 기술을 강조할 것입니다. 다음은 FEDI에 대한 간략한 요약입니다.

페디 기술

좋은 기술을 더 좋게 만드는

EDI 공정에서 제거되는 이온 불순물에는 두 가지 유형이 있습니다. 강하게 이온화된 불순물(Ca, Mg, SO와 같은 XNUMX가 이온4 및 Na, Cl 및 HCO와 같은 XNUMX가 이온3) 및 약하게 이온화된 불순물(예: CO2 B와 SiO2). 두 가지 유형의 이온성 불순물은 이동과 분리를 위해 서로 다른 구동력(전류)을 필요로 합니다. 강하게 이온화된 불순물은 더 적은 전류를 필요로 하는 반면 약하게 이온화된 불순물은 더 많은 전류를 필요로 합니다. FEDI 공정은 전체 모듈에 하나의 전류를 인가하는 것이 아니라 1단계 공정에서 서로 다른 전류와 전압을 인가하여 약이온화된 불순물과 강한 이온화된 불순물의 처리를 구별합니다. 이를 통해 더 높은 전압에서 침전을 유발할 수 있는 주로 2가 이온과 같은 강하게 이온화된 불순물의 상당 부분을 Stage-XNUMX에서 제거할 수 있습니다. 이후 Stage-XNUMX에서 약하게 이온화된 불순물을 제거하기 위해 더 높은 전압을 인가한다. 두 단계에서 거부된 이온은 별도의 거부 스트림을 사용하여 제거되어 경도 침전을 방지합니다.

그리고 더 UPW 마이크로 :

초순수 마이크로 컨퍼런스

 UPW Micro는 다음 주제 등을 다룹니다.

입자 관리/제어

입자 모니터링

웨이퍼 처리 도구에 대한 UPW 요구 사항

UPW 사용자 관점
반도체 팹 외부의 UPW 품질 및 UPW 시스템
소형 UPW/DI 시스템

H2O2 모니터링/제어/모니터링 프로세스에 미치는 영향

UPW 재료 개선

사용처 처리

TOC/유기물; TOC 종분화

UPW 공정의 금속

비용 절감 및 기타 지속적인 개선

캘리브레이션

묽은황 처리, TDS 감소

매립 및 재사용 과제

냉각탑에 대한 수질의 영향과 물 관리 및 보존에서 냉각탑의 역할

새로운 화학 도전

유기적 통제

폐수의 황산 및 염분

폐수 모니터링 문제

Cu 폐기물 관리

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