项目介绍
使用 FEDI® 解决方案为印度先驱 OSAT 半导体工厂提供超纯水质 QUA
业主: 全球半导体制造商
工厂位置: 印度古吉拉特邦
全球最大的半导体制造商之一正在印度政府修改后的装配、测试、标记和封装 (ATMP) 计划下建立其首个外包半导体装配和测试 (OSAT) 设施。
该项目是该公司和印度半导体行业的一个重要里程碑。新的 OSAT 工厂将在半导体制造过程中发挥不可或缺的作用,执行测试和封装硅片等关键任务,并成为半导体供应链中的重要环节。
面临的挑战:
超纯水 (UPW) 是半导体制造中的关键组成部分,即使是最轻微的杂质也会影响生产质量。为了满足此工艺的严格要求,制造商需要一套高度可靠的 UPW 系统,该系统能够每小时生产 4.5 立方米的 UPW,进料电导率小于 0.1 μS/cm,以满足半导体行业的高精度标准。
QUA的解决方案:
经过严格的技术评估,制造商选择了QUA的FEDI®分级电去离子
技术用于其 UPW 系统。QUA 最先进的 FEDI® 解决方案之所以被选中,是因为它能够通过其专利工艺持续生产高达 18 MΩ.cm (0.056 μS/cm) 的高纯度水。该解决方案确保 UPW 系统满足半导体制造所必需的最高质量标准。
流程图:
结果:
FEDI® 系统可靠地为关键的半导体制造工艺提供超纯水,例如清洗和测试硅片以及电动工具。FEDI® 系统连续不间断运行,始终满足所需的流速和电导率,同时遵守所有预定义的规范和标准。这种稳定的性能为半导体制造商的 OSAT 设施提供了可靠的超纯水供应,这对于维持半导体制造中必不可少的精度和质量标准至关重要。