Qua荣幸地参加31月1日和XNUMX月XNUMX日在俄勒冈州波特兰举行的超纯水微电子展览会。 我们将重点介绍我们的FEDI(碎片电去离子)技术,作为微电子行业的解决方案。 以下是我们的FEDI的简要摘要:

FEDI技术

把一个好的技术做得更好

在EDI过程中有两种类型的离子杂质被去除; 强离子化的杂质(二价离子如Ca,Mg,SO4 和一价离子,如Na,Cl和HCO3)和弱离子化杂质(如CO2 B和SiO2)。 两种类型的离子杂质都需要不同的驱动力(电流)来移动和分离。 强离子化杂质需要较少的电流,而较弱离子化的杂质需要更多。 FEDI过程并不是将一个电流施加到整个模块上,而是通过在两个阶段过程中施加不同的电流和电压来区分对弱离子化和强离子化杂质的处理。 这允许在-1阶段中去除大部分强离子化的杂质,主要是可导致在较高电压下沉淀的二价离子。 随后,施加更高的电压以去除Stage-2中弱电离的杂质。 来自两个阶段的被排除的离子被使用单独的废弃物流去除,从而防止硬度沉淀。

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超纯水微型会议

 UPW Micro涵盖以下主题和更多内容

粒子管理/控制

粒子监测

UPW需要晶圆处理工具

UPW用户视角
UPW质量和UPW系统在半导体工厂之外
小型UPW / DI系统

H2O2监测/控制/对监测过程的影响

UPW材料的改进

使用治疗点

TOC /有机物; TOC形态

UPW过程中的金属

降低成本等不断改进

校准

稀硫酸处理,TDS还原

回收和再利用的挑战

水质对冷却塔的影响及冷却塔在水资源管理和养护中的作用

新的化学挑战

有机控制

废水中的硫酸和盐分

废水监测问题

铜废物管理

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