Qua ist stolz darauf, am 31. Mai und 1. Juni auf der Ultrapure Water Microelectronics Show in Portland, Oregon auszustellen. Wir werden unsere FEDI-Technologie (Fractional Electrodeionization) als Lösung für die Mikroelektronikindustrie hervorheben. Hier ist eine kurze Zusammenfassung unserer FEDI:
FEDI-Technologie
Gute Technik noch besser machen
Es gibt zwei Arten von ionischen Verunreinigungen, die in einem EDI-Prozess entfernt werden; stark ionisierte Verunreinigungen (zweiwertige Ionen wie Ca, Mg, SO4 und einwertige Ionen wie Na, Cl und HCO3) und schwach ionisierte Verunreinigungen (wie CO2 B und SiO2). Beide Arten von ionischen Verunreinigungen erfordern eine unterschiedliche Antriebskraft (Strom) für Bewegung und Trennung. Stark ionisierte Verunreinigungen benötigen weniger Strom, wohingegen schwach ionisierte Verunreinigungen mehr benötigen. Anstatt einen Strom an das gesamte Modul anzulegen, unterscheidet der FEDI-Prozess die Behandlung von schwach ionisierten und stark ionisierten Verunreinigungen, indem unterschiedliche Ströme und Spannungen in einem zweistufigen Prozess angelegt werden. Dadurch kann ein erheblicher Teil stark ionisierter Verunreinigungen, hauptsächlich der zweiwertigen Ionen, die bei einer höheren Spannung eine Ausfällung verursachen können, in Stufe 1 entfernt werden. Anschließend wird in Stufe-2 eine höhere Spannung angelegt, um schwach ionisierte Verunreinigungen zu entfernen. Die zurückgewiesenen Ionen aus beiden Stufen werden entfernt, indem getrennte Rückhalteströme verwendet werden, wodurch eine Härteausfällung verhindert wird.
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